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六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转／旋转角度运动的压电平台。
近年来，在极端环境下研究纳米尺度下的物理学与材料学已成为学术研究的热点。在极低温、强磁场下，依据原子力、磁力等可从物质结构、物理特性、温度、磁场、电学、光学、微波等多个物...
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文档来源：利元亨
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