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“针对光刻机等苛刻测量环境中实现多自由度干涉测量的需求,我们提出了基于棱镜误差矢量分析的单体集成多轴干涉仪组件设计方法,研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件,打...

激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一,是保障可溯源纳米测量的重要途径,也是迈向计量强国、制造强国不可或缺的关键计量测试技术。

本文首先介绍了不同的激光雷达传感/测距方法。这些方法包括脉冲TOF、AMCW TOF和FMCW。其次,综述了传统固态激光雷达传感器的研究进展,包括基于闪存的、基于mems...

昨日,北京市科委发布通知,公布了北京市2012年度第一批通过鉴定的企业研究开发项目名单。

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