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本文作者 | 张贺 在中国的半导体制造业,上海、合肥乃至无锡常被聚光灯环绕,地处东北的沈阳却像个异类总被遗忘。但在半导体设备领域,沈阳的地位举足轻重。做涂胶显影设备的芯...

半导体已经进入原子级加工水平,在这个精度上进行半导体器件制造,需要集合50多个学科的知识与技术。而且,加工精度只是一个维度,良率对半导体制造生死攸关,因此均匀性、稳定性、...

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