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薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料,比如绝缘化合物二氧化硅,半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。薄膜制备工艺按...

虽然在商用化学气相沉积设备中可以在一次运行中实现多片4H-SiC衬底的同质外延生长,但是必须将晶片装载到可旋转的大型基座上,这导致基座的直径随着数量或者外延晶片总面积的增...

本文中通过光学显微镜,AFM,SEM和拉曼光谱研究了在每个晶片上获得的4H-Si薄膜的结构性质。结果表明,在每个晶片的内部区域可以获得高质量的同质外延生长4H-SiC薄膜...

本篇文章中提出了一种通过氯化氢化学气相沉积(HCVD)在4°切割基板上快速同质外延生长厚的4H-SiC薄膜的工艺优化方法。所使用的气体是HCl与SiH4,C2H4和H2的...

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)中的Vapor Deposition意为气相沉积,其意是指利用相中发生的物理、化学过程,在固体表面形成...

时至今日,钻石已经成为证明爱情的信物,也成为了结婚时首选的首饰,但天然钻石的价格仍然十分昂贵。那有没有一种方式,在满足日益增长的钻石需求的同时,又可以控制价格呢?于是,培...

声明:本文为火石创造原创文章,欢迎个人转发分享,网站、公众号等转载需经授权。导读石墨烯是二维纳米级碳材料,是已知最好的导电、导热、强度最大的材料,具备极高的透光率和延展性...

作者 | Douglas Fairbairn编译 | 杨玉科编辑 | Jane出品 | 帮宁工作室(gbngzs)▍谈张忠谋的工作秘诀张忠谋亲自找您了吗?(笑)那时候我根...

知情郎·眼|侃透天下专利事儿针对中国!日前,美国商务部工业和安全局(BIS)发布公告,称出于国家安全考虑,将四项“新兴和基础技术”纳入新的出口管制。这四项技术是1)能承受...

利用化学气相沉积法将氧化铝镀膜到PERC电池背板之后,在其表面还需覆盖一层氮化硅作为保护膜。PERC,钝化发射极和背面电池技术。PERC电池是光伏电池的一种,其在BSF电...

当前市场中常见的正硅酸乙酯主要有液态和气体两种形态,被应用在化学气相沉积、阿尔德、沟槽填充等领域。正硅酸乙酯(TEOS)又被称作为四乙氧基硅烷,是一种硅酸乙酯、硅有机化合...

文︱立厷图︱网络Yole半导体制造技术与市场分析师Vishnu Kumaresan博士说:“我们正处于一个关键的历史时期,我们周围的每一台设备都在变得更加智能、绿色和紧凑...

在《揭秘半导体制造全流程(上篇)》 中,我们给大家介绍了晶圆加工、氧化和光刻三大步骤。本期,我们将继续探索半导体制造过程中的两大关键步骤:刻蚀和薄膜沉积。第四步...

众所周知,半导体作为最重要的产业之一,每年为全球贡献近五千亿美金的产值,可以毫不夸张的说,半导体技术无处不在。整个半导体产业链中,加工制造是最重要的环节之一,如此巨大的市...

打破了“稀缺”标识的培育钻,如何满足被重新定义的消费需求?本文为元气资本第103篇原创文章分析师:李圣蓉 核心内容1、美国培育钻石需求暴增,中国工厂供不应求。2...

摘要:目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中的真空压力控制装置普遍采用美国MKS公司的控制阀和控制器。本文介绍了采用MKS公司产品在实际应用中存在控制精度差和价...

PLC更广为人知的是在电子技术领域,它是可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller)的简称。在光通信技术领域,PLC是平面光路(Plan...

2020年12月3日,很快就过年了。今年3D打印依然大火,无论是产业界还是科研界。那么在科学研究上,有哪些突破性进展呢?新的技术突破,往往孕育着新的市场应用机会。南极熊希...

如今的MEMS芯片及传感器市场,除了历史悠久的国际品牌,许多中国初创芯片公司也进入了大家的视野,这其中就包括2015年成立的西人马公司。虽然西人马在MEMS芯片及传感器领...

八种常见金属材料1、铸铁——流动性下水道盖子作为我们日常生活环境中不起眼的一部分,很少会有人留意它们。铸铁之所以会有如此大量而广泛的用途,主要是因为其出色的流动性,以及它...

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