与ICP-OES（电感耦合等离子体发射光谱仪）相比，ICP-MS具有检出限更低、线性动态范围更宽、干扰更少等优点。 ICP-MS，电感耦合等离子体质谱仪，一种分析仪...

目前3D打印机技术应用在不同的领域，最近英国和德国的研究人员利用3D打印机探索一种新的角度，即螺旋喷射，这是一种电容耦合射频等离子体，具有双螺旋电极配置。研究人员在最近发...

英国原子能机构主席史蒂芬·考利教授坦言，可控核聚变是解决人类未来能源危机的关键。

ICP-OES以ICP为原子发射光谱的主要光源，通过检测样品产生的原子发射光谱进行定性定量分析；ICP-MS以ICP为质谱的高温离子源，通过检测样品产生的不同离子质谱进行...

研究人员对他们称之为“世界上最薄、最强的石墨烯靶”进行了直接高能离子加速。石墨烯被认为是世界上最薄、最强的2D材料，适用于激光驱动离子源。

摘要：目前微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中的真空压力控制装置普遍采用美国MKS公司的控制阀和控制器。本文介绍了采用MKS公司产品在实际应用中存在控制精度差和价...

摘要:本文介绍了合肥等离子体所研发的微波等离子高温热处理装置,并针对热处理装置中真空压力精确控制这一关键技术,介绍了上海依阳公司为解决这一关键技术所采用的真空压力下游控制...

中国科学院成立于1949年11月，为中国自然科学最高学术机构、科学技术最高咨询机构、自然科学与高技术综合研究发展中心。OFweek激光网将根据中科院提供的公开信息，为大家...

我国在激光领域起步较早，并取得了一定的成果。OFweek激光网将系列报道中国主要的激光院士及其科研成果。

本文来自方正证券研究所2022年3月02日发布的报告《设备卖铲人：半导体设备零部件需求测算》，欲了解具体内容，请阅读报告原文，陈杭S1220519110008 ...

一、行业特点：分散化、技术壁垒高半导体设备根据功能分区，其零部件通常可分为：光学系统、机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统、真空系统、附属设备、仪器仪表、气动系统类、...

本项目以质谱仪关键部件为突破点，在较短时间里完成了平台建设，完成了4种等离子体离子源、两种质谱接口以及质谱测控系统和软件系统。这些关键部件的研发成果不仅可以支撑等离子体质...

最近，光刻机话题异常火热，似乎全世界都在关注中国本土相关产业的发展。要想制造出一台可商用的高端光刻机（可制造7nm及更先进制程芯片），是一项复杂的工程，因为高端光刻机所需...

《规划》介绍了广东制造业的发展现状和发展趋势，对“十四五”期间的发展提出了总体要求、发展重点方向与重大工程。

今天聊一下半导体工艺的一个知识,离子注入。离子注入是半导体掺杂以及改性常用的一个工艺。把需要掺杂的杂质电离成电子,然后加速,去碰撞到半导体wafer上,就像弯弓射箭靶一样...

华为对外投资的步伐显然在不断加快。本周硬科技领域投融资事件一共33起，人工智能领域发生13起融资事件，占比40％；生物医药领域发生9起融资事件，占比27％；半导体领域发生...

半导体设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的关键支撑环节。半导体设备是半导体产业的技术先导者，芯片设计、晶圆制造和封装测试等需在设备技术允许...

当摩尔定律推动半导体行业迭代进步时，半导体设备成为了延续摩尔定律的重要一环。在芯片的数百层结构中，每一层的“沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入、去胶&rd...

4月2日消息，据外媒报道，俄罗斯莫斯科电子技术学院（MIET）已经接下了贸工部的6．7亿卢布资金（约合5100万元人民币），准备研发制造芯片的光刻机，并号称该款光刻机工艺...