摘要:本文将针对CVD和MPCVD工艺设备中存在的问题,介绍一种国产的两通道24位高精度多变量PID控制器,此一台控制器可对温度和真空度同时进行控制,大大缩小了仪表占用空...
摘要:光谱测量和光谱仪是检测监测中的重要技术手段,为了得到满意的测量精度,光谱仪要求配套高精度的压强和温度传感器、执行机构和PID控制器,并需具有适用范围广、精度高、易集...
摘要:目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中的真空压力控制装置普遍采用美国MKS公司的控制阀和控制器。本文介绍了采用MKS公司产品在实际应用中存在控制精度差和价...
摘要:本文介绍了合肥等离子体所研发的微波等离子高温热处理装置,并针对热处理装置中真空压力精确控制这一关键技术,介绍了上海依阳公司为解决这一关键技术所采用的真空压力下游控制...
本文主要针对压力参数,介绍了真空冷冻干燥过程中使用压力监控仪表推荐的最佳操作过程研究,尤其是用于监视冷冻干燥过程中压力变化以及可能用于设备功能测试的最佳过程研究结果。
摘要:本文主要针对压力参数,介绍了真空冷冻干燥过程中使用压力监控仪表推荐的最佳操作过程研究,尤其是用于监视冷冻干燥过程中压力变化以及可能用于设备功能测试的最佳过程研究结果...
机电设备是抽水蓄能电站的重要组成部分,设备选型好坏直接关系到电站安全稳定运行,和常规水电站相比抽水蓄能的水电站建设难度较大,抽水蓄能电站的整体技术要求较高,尤其是工况转换...
呼应智能制造发展需求,8月22日,“驱控智造未来-——2019台达工业自动化新品发布会”在北京举行。台达推出应用CODESYS开发平台,兼顾高性能和可靠性的PC-Base...
为积极响应工信部等十七部门联合印发的《“机器人+”应用行动实施方案》,推动“机器人+ ...
文档来源:利元亨