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MEMS(微机电系统)是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,是一个独立的智能系统。由于MEMS体积小、重量轻、功耗低等特点,越来越多的被运用于汽车、消费电子、医疗等领域。...
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文档来源:利元亨
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