半导体行业典型设备
电子束光刻系统
离子注入机
半导体刻蚀机
晶圆/芯片检测设备
PVD/CVD沉积设备
等离子清洗机
金升阳推荐产品
射频电源
(接受定制)
高压输出电源
(接受定制)
高精度电源
(接受定制)
功放
·功率稳定度:补偿技术,峰值功率下波动率<0.5%
·频率精度:±0.005%
·操作模式: 采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单
·全面防护: 过温保护、反射功率保护、过流保护等
快速匹配
·多模式应用: 兼容ICP/CCP多种等离子体负载
·快速匹配: 基于模型的最优轨迹算法,ms级匹配速度
·低反射功率: 电压驻波比(VSWR)<1.2,反射功率极低
·高速接口: 支持Modbus、EtherCAT等多种通信协议
产品优势
极致稳定、快速补能泄放、强瞬时输出,为功率器件测试提供高速可靠高压方案,助力客户实现测试效率提升与研发迭代加速。
·高稳定度: <±0.01% / hour、<±1%/cycle
·补能速度:200ms,10%-90%上升时间:200ms
·泄放速度:1s,90%-10%下降时间
·输出电流:0-15A(瞬态功率18000W)
·产品安全可靠保护: 集成多种保护功能,保障客户系统
产品优势
极致稳定、快速补能泄放、强瞬时输出,为功率器件测试提供高速可靠高压方案,助力客户实现测试效率提升与研发迭代加速。
·高稳定度: <±0.01% / hour、<±1%/cycle
·补能速度:200ms,10%-90%上升时间:200ms
·泄放速度:1s,90%-10%下降时间
·输出电流:0-15A(瞬态功率18000W)
·产品安全可靠保护: 集成多种保护功能,保障客户系统
稳定度
·功率稳定度:<10ppm @12h
·有效分辨率:≥14bits
·超低噪声: ≤2ppm @0.1-50Hz
·负载/线性调整率: ≤50ppm
·器件温控稳定性: ±0.1℃
动态性能
·响应时间: ≤100ns
·高速通信: 16G QSFP+
·DAC数据刷新率: ≥50Msps
金升阳助力半导体行业电源国产化
金升阳作为一站式电源解决方案商,致力于为半导体领域提供无忧的国产电源。
1200W 可配置电源LMP系列 — 低纹波、长寿命、小体积
- ·低纹波噪声:50mV
- ·线性调整率±0.4%,负载调整率±1%
- ·六路输出,电压、电流、功率按需组合
高端导轨电源 LIMF系列 — 高精度、低纹波噪声
- ·效率高达95.5%,可靠性高,使用寿命长
- ·兼具防盐雾、防腐、5G抗震、三防漆
- ·具备1.5倍瞬态峰值功率3s