半导体设备行业正处在爆发前夜,全球半导体设备专用电源市场在2022年规模约180亿美元,预计2027年超300亿美元,年复合增长率超12%。受行业特性的高精尖要求和市场格局影响,如单晶炉、光刻机、晶圆检测等设备电源需要满足高可靠、低纹波、小型化、长寿命、国产化等要求。

半导体行业典型设备

电子束光刻系统

电子束光刻系统

离子注入机

离子注入机

半导体刻蚀机

半导体刻蚀机

晶圆/芯片检测设备

晶圆/芯片检测设备

PVD/CVD沉积设备

PVD/CVD沉积设备

等离子清洗机

等离子清洗机

电子枪 束线系统 等离子发生器 光柱体系统 精密测量单元 磁分析器

金升阳推荐产品

射频电源

(接受定制)

高压输出电源

(接受定制)

高精度电源

(接受定制)

高稳定
功放

·功率稳定度:补偿技术,峰值功率下波动率<0.5%

·频率精度:±0.005%

·操作模式: 采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单

·全面防护: 过温保护、反射功率保护、过流保护等

高效
快速匹配

·多模式应用: 兼容ICP/CCP多种等离子体负载

·快速匹配: 基于模型的最优轨迹算法,ms级匹配速度

·低反射功率: 电压驻波比(VSWR)<1.2,反射功率极低

·高速接口: 支持Modbus、EtherCAT等多种通信协议

产品优势

极致稳定、快速补能泄放、强瞬时输出,为功率器件测试提供高速可靠高压方案,助力客户实现测试效率提升与研发迭代加速。

极致性能、高速测试

·高稳定度: <±0.01% / hour、<±1%/cycle

·补能速度:200ms,10%-90%上升时间:200ms

·泄放速度:1s,90%-10%下降时间

·输出电流:0-15A(瞬态功率18000W)

·产品安全可靠保护: 集成多种保护功能,保障客户系统

产品优势

极致稳定、快速补能泄放、强瞬时输出,为功率器件测试提供高速可靠高压方案,助力客户实现测试效率提升与研发迭代加速。

极致性能、高速测试

·高稳定度: <±0.01% / hour、<±1%/cycle

·补能速度:200ms,10%-90%上升时间:200ms

·泄放速度:1s,90%-10%下降时间

·输出电流:0-15A(瞬态功率18000W)

·产品安全可靠保护: 集成多种保护功能,保障客户系统

极致
稳定度

·功率稳定度:<10ppm @12h

·有效分辨率:≥14bits

·超低噪声: ≤2ppm @0.1-50Hz

·负载/线性调整率: ≤50ppm

·器件温控稳定性: ±0.1℃

超高
动态性能

·响应时间: ≤100ns

·高速通信: 16G QSFP+

·DAC数据刷新率: ≥50Msps

金升阳助力半导体行业电源国产化

金升阳作为一站式电源解决方案商,致力于为半导体领域提供无忧的国产电源。

国家高精特新小巨人
授权专利 1300+ 项
自动化程度超过 70%

1200W 可配置电源LMP系列 — 低纹波、长寿命、小体积

  • ·低纹波噪声:50mV
  • ·线性调整率±0.4%,负载调整率±1%
  • ·六路输出,电压、电流、功率按需组合

高端导轨电源 LIMF系列 — 高精度、低纹波噪声

  • ·效率高达95.5%,可靠性高,使用寿命长
  • ·兼具防盐雾、防腐、5G抗震、三防漆
  • ·具备1.5倍瞬态峰值功率3s

无忧电源 · 一站式电源解决方案

广州金升阳科技有限公司,国家高新技术企业,国家级单项制造业冠军、国家重点小巨人企业,已连续10年荣登广东省制造业500强榜且排名稳步提升,是国内集研发、生产、销售于一体的服务全球的电源解决方案提供商,也是拥有强大自主研发和知识产权优势的创新型企业。

金升阳优客户所忧,通过质量、性能、设计、供货和服务五个维度考量,致力于为工业、医疗、能源、电力、轨道交通、智能交通、智慧城市等领域提供一站式电源解决方案,帮助客户提高生产效率和能源效率,同时降低对环境的不良影响,为客户提供“无忧电源”。