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半导体晶圆的整个制造过程中包含数百个步骤,需要一到两个月的时间。在任意一步如果附着了灰尘或尘粒,就会产生无法预测的缺陷。如果晶圆表面出现大量缺陷,则无法正确创建电路图案,...

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文档来源:利元亨

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