芯片的出光面是什么晶面?侧边是什么晶面?
做过LED或者LD芯片的童鞋应该会了解到外延基板晶向问题。比如在激光芯片中,常使用(110)晶面作为解离面,解离面比较光滑,具有较高的反射率,因此即便是不镀减反膜和高反 膜芯片端面也有大概30%的反射率。
开始先提出两个问题:
1)一般砷化镓外延是在(100)晶面基板上生长起来的。芯片Die的解离面是(110),基板大定位边所在面是(0,-1,-1),小平边是次参考面(0,-1,1)。如下图根据基板,确定die解离划裂线方向,和die的六个面所处的晶面。
下图芯片的出光面是什么晶面?侧边是什么晶面?分别和上表面成多少度角?
2)晶面为什么要偏转15°?
回答以上问题,需要回顾一下,砷化镓的晶格结构,是属于固体物理的知识。
砷化镓晶格结构
上图是砷化镓的晶格结构
砷化镓晶格是由两个面心立方(fcc)的子晶格(格点上分别是砷和镓的两个子晶格)沿空间体对角线位移1/4套构而成。这种晶体结构在物理学上称之为闪锌矿结构。
温习一下晶格晶向的知识点
因此晶向[u v w]是一个射线,起点是原点,过uvw坐标的一个点连接而成。
<uvw>尖括号是晶向族,包括多种组合。
如上图 (221)晶面垂直于【221】晶向
如上图是(100)晶面的砷化镓基板,第一幅是从正面俯视,如果要切割出{110}面的解离面,该如何下刀呢?
思考一下,下期再详写
最新活动更多
-
即日-4.30免费预约申请>> 艾睿光电-开阳及瑶光系列专家级红外热像仪-产品试用
-
5月8-10日立即报名>> 国际物流解决方案展览会
-
5月10日立即下载>> 【是德科技】精选《汽车 SerDes 发射机测试》白皮书
-
5月16日火热报名>>> OFweek锂电/半导体行业数字化转型在线研讨会
-
5月28日立即观看>> 【在线研讨会】Ansys镜头点胶可靠性技术及方案
-
5月31日立即报名>> 【线下论坛】新唐科技2024未来创新峰会
- 1 赋能新质生产力 | 格力工业装备新品发布会圆满召开
- 2 iEi威强电医疗平板电脑IASO-W10B-N6210
- 3 苏州源控:打造优质计算机产品,助力生产生活高效便捷
- 4 Ansys 粉末/颗粒流多物理仿真技术介绍及案例网络研讨会4月23日正式上线!
- 5 劳易测合作伙伴Pizzato 新品上市|带锁定功能的NX系列RFID安全开关
- 6 博世力士乐2023年销售额再创新高 积极应对未来挑战
- 7 创新驱动、开放共享、工具赋能,助力工业企业供应链数智化转型升级
- 8 劳易测5B系列光电传感器升级推出长光斑XL型号,性能强悍
- 9 【参会指南】2024星火生态大会邀您参会!
- 10 工业上楼打造现实版“摩天工厂”
发表评论
请输入评论内容...
请输入评论/评论长度6~500个字
暂无评论
暂无评论