同样制造光刻机，日本佳能、尼康为何在EUV上掉队？

2021-03-17 09:19

ASML已经成为了全球第一大光刻机厂商，而且最顶尖的EUV光刻机更是独家垄断。

日前与媒体交流时，ASML技术开发副总裁Tony Yen确认了此前外界的猜测，他表示EUV光刻机目前有三大客户，分别是台积电、三星和Intel。

至于同样制造光刻机的日本佳能、尼康为何在EUV上掉队，Yen指出，我们从2000年左右开发EUV，并决定大批量生产这种光刻机。

日本人没有这么做，因为他们觉得系统太复杂。实际上，我们当时也不是100％确信EUV光刻机会成功。

当然，Yen提到，EUV光刻机的成功还有蔡司、Cymer（已被ASML收购）等企业参与，其中蔡司独家向ASML出售半导体相关的曝光产品。

据官方披露的数据，去年全球光刻机总销售量为413台，其中ASML销售258台占比62％，佳能销售122台占比30％，尼康销售33台占比8％。从光刻机类型来看，尼康出货的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i－line（份额69％）。

作者：万南来源：快科技

声明： 本文系OFweek根据授权转载自其它媒体或授权刊载，目的在于信息传递，并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责，如有新闻稿件和图片作品的内容、版权以及其它问题的，请联系我们。

共0条评论，0人参与

登录登录即可访问所有OFweek服务

请输入评论内容...

请输入评论/评论长度6~500个字

暂无评论

图片新闻