从细分产品来看,根据玻璃成分的不同,光掩膜玻璃基板可以细分为合成石英掩膜基板、硼硅玻璃掩膜基板和苏打玻璃(或钠钙玻璃)掩膜基板等。光掩膜,又称光罩、掩膜版、光刻掩膜版等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制
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