车桥耦合
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中微发布新一代电感耦合等离子体刻蚀设备Primo Twin－Star®
中微半导体在SEMICON China 2021期间正式发布了新一代电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo Twin－Star®，用于IC器件前道和后道制程导电／电介质膜的刻蚀应用。
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技术文章：桥面初始变形的大跨斜拉桥车桥耦合振动分析
列车在桥梁上运行时，在轨道不平顺的激励下，桥梁结构会产生振动，桥梁振动又会影响列车的振动，两者相互耦合形成一个时变系统。当车桥耦合振动过大时，既会影响列车运行安全性和平稳性，又会引起桥梁结构构件的疲劳失效，且当桥梁振动与自振频率接近时，容易引发共振，严重威胁桥梁结构的安全
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