预见2020：2020年中国离子注入机产业全景图
2020-08-14 14:24
前瞻网
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产业链——下游应用广泛
离子注入机是高压小型加速器中的一种，是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还能用于太阳能电池等的制造。
离子注入机也是集成电路制造前工序中的关键设备，半导体为改变载流子浓度和导电类型需要对半导体表面附近区域进行掺杂，而离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，使得离子注入在半导体制造中被广泛应用。
产业政策——离子注入机成关键研发设备
从政策环境上来看，我国对于离子注入机行业较为重视。其主要表现在将离子注入机在多项政策中列为推荐发展的关键设备。如《国家集成电路产业发展推荐纲要》中明确提出，要离子注入机作为关键设备进行研发。；《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》（2019年版）也将中束流、大束流、高能离子注入机等离子注入机列入了名录。
设备简析——设备类型因具体应用而异
根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机。这些离子注入机的运行原理基本莱斯，但是注入计量范围和具体在工艺中的主要应用各有不同，其具体如下：
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